干式螺桿真空泵內可能殘留有氣體或雜質,如水汽、氣體等,會影響泵的抽真空效果。抽氣速率不足,無法及時將氣體排出導致真空度低。
如泵的轉速、冷卻水溫度等參數設置不當會影響干式螺桿真空泵的抽氣效果。內部零部件如螺桿、軸承等損壞或磨損會影響泵的正常運行,進而影響真空度。與管路連接處密封不嚴密或有泄漏會導致氣體進入系統,影響真空度。
干式螺桿真空泵